光刻胶分为两种,一部分不容易蚀刻,一部分容易蚀刻,放入蚀刻机中产生蚀刻的效果,容易蚀刻的部分消失,不容易蚀的部分仍然存在,结果会导致蚀光刻胶让硅片的一部分消失,让硅片组成复杂的电路模板,相当于过年使用的的剪纸一样。
3、反应离子刻蚀机,在平板电极间施加高频电压,产生数百微米厚的离子层,这些离子的浓度和均匀度都有很高的要求。
4、离子注入机,对半导体表面附近区域进行掺杂,控制电极之间的离子高速撞击硅片,让离子轰击进入硅片里面,实现半导体的掺杂加工。
如果电极间的离子是五价磷离子,就可以构成P型半导体,如果电极间的离子三价硼离子,就可以构成N型半导体。
除此之外,反应离子蚀刻机还可以控制掺杂浓度,得到各种掺杂浓度的半导体。
5、单晶炉,熔融半导体材料,拉单晶,为后续半导体器件制造,提供单晶体的半导体晶坯。
所谓单晶,也就是硅片,典型的特点就是所有的原子处于同一个平面,而且一层一层叠起来,技术要求非常高,越大的晶圆制造难度越高。
6、晶圆划片机,把晶圆切割成小片,而且要求晶圆的原子在同一平面
7、晶片减薄机,通过抛磨,把晶片厚度减薄,这是机械加工的范畴,也就是利用数控机器使用刀片缓慢切割,精度原子级别。
8、气相外延炉,让单晶衬底一层一层原子缓慢增长,形成让单晶生长的基础结构。
9、分子束外延系统,在衬底表面吸引熔融硅离子,在合适的条件下,硅离子会按照晶轴方向逐层生长,冷却后形成单晶。
10、氧化炉,对半导体材料进行氧化处理,使得半导体为氧化成二氧化硅,它是一种绝缘材料。
11、低压化学气相淀积系统,把化学反应剂的蒸气引入反应室,在衬底表面发生化学反应生成薄膜。
12、等离子体增强化学气相淀积系统,利用辉光放电,让等离子电离后在硅片衬底上进行化学反应,沉积半导体薄膜材料。
13、磁控溅射台,在设备内部形成正交电磁场,把将电子束缚在加工目标表面特定区域,实现高离子密度和高能量的电离,让特定原子在基片上形成薄膜。
14、化学机械抛光机,通过机械研磨和化学溶解的综合作用,半导体进行研磨抛光。
15、引线键合机,把半导体芯片上的输出点与外面封装管脚用导电金属线链接起来,如果是高端芯片,一般是用黄金作为连接材料,这也是黄金可以作为贵重金属的重要原因。
16、探针测试台,通过探针与半导体器件的引脚接触,进行电学测试,检测半导体的性能指标是否符合设计性能要求。
方浩一边查阅以前自己记载的资料,一边利用自己掌握的知识进行分析,列出这些设备所需要攻克的技术,思索着如何去实现它。