顾律脑中灵光一闪,瞬间明白问题的关键所在。
在抛光过程中,除了抛光机以及被抛光的物件,用来进行辅助抛光作用的抛光液,也能极大的影响被抛光物件的精度。
往往,不同型号的抛光机,不同被抛光的物件,最适宜使用的抛光液是不同的。
“你们用的是哪种抛光液?”顾律沉声问道。
“呃……”黄师傅愣了一下,随口回答,“我们现在使用的纳米三氧化二铝粉末抛光液。”
林经理一脸紧张的看向顾律,“顾先生,有什么问题吗?”
有问题,问题大了!
纳米三氧化二铝粉末当做磨料,加入BuehlerPhoenixBets型抛光机,进行单硅晶片的精密抛光,本身就是极为不智的一种举动。
因为三氧化二铝这个东西,实在是太硬了啊!
即便是纳米级别的三氧化二铝粉末,硬度也不会减少。在抛光过程中,肯定会对硅晶片造成损伤。
另一方面,根据Preston公式,MRR=ρwNV。
抛光磨料硬度越高,对应的切削深度越大,塑性磨削作用越弱。
他想,他已经知道,为什么使用新设备抛光后的硅晶片,在精度方面一直达不到要求了。
“抛光液用错了。”顾律眼神的平淡的看了张经理一眼,开口说道。
“难道不是用三氧化二铝粉末抛光液吗,我之前在国营大厂里,一直都是用的这个。”说话的是黄师傅。
顾律笑着开口解释,“对于那些精度不高的硅晶片,使用纳米三氧化二铝粉末当然没问题,因为制备简单,成本还低,但对于高精度抛光机,这种高硬度的抛光磨料,就明显不适用了。”
“那顾先生,我们应该用哪种,当做纳米磨料?”张经理问。
“二氧化铈。”顾律请吐出四个字。
“二氧化铈?”张经理眉头皱起。
“你们这没有这种抛光液?”顾律问。
“呃……没有。”林经理老老实实的回答。
老实说,这种抛光液,在国内都不常见。
“那你们这瓶三氧化二铝抛光液,是从外面买过来的,还是自己制备的?”顾律接着问。
林经理开口,“我们自己做的,我们有一条专门的生产线。”
他们海跃公司,除了售卖一些半导体材料外,抛光液也是他们的产品之一,不过货量不大。
除了自产自销的一些外,没多少流入市场上。
顾律倒是不意外。
抛光液这东西生产起来不复杂,搭建一条生产线很简单。
“带我过去看看吧,我试试能不能制作出来二氧化铈抛光液。”顾律看向张经理,缓缓开口。
张经理愣了一下,“您……亲自制作?”
顾律耸耸肩,轻松的语气,“没必要那么大惊小乍,这东西没什么技术含量,只要材料有,稍微有点化学常识的人都会弄。”
“走吧,带我去看看。”顾律挑挑眉。
“那这边……”林经理指着快要结束抛光过程的设备,犹豫的开口。
“不用再继续看了,反正结果肯定和你们之前得到的一样。没必要浪费时间。”
“好吧,那顾先生,这边请。”
抛光液生产线放在了工厂那栋五层小楼的顶楼。
走进房间,可以看到两名员工在里面忙碌的工作着。
顾律来到实验台,看了一眼桌上瓶瓶罐罐拜访的那一堆化学试剂,然后扫了一眼整个房间内的大致设备,淡淡笑了笑。
“运气还不错,制备二氧化铈的材料和设备基本都有,接下来,交给我就好了。”
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